由荷兰ASML独家生产的EUV设备，是半导体中非常重要的设备，也是三星与台积电的竞争决胜点，从在代工厂纷纷进入7纳米时代时，三星电子首先选择采用EUV制程，并于上个月抢先业界量产EUV制程的7纳米产品。 在日前的半导体大会上，台积电表示 逻辑器件微缩将成为半导体产业发展的一大趋势， 台积电预计在5纳米制程引入EUV技术。
有人认为三星电子将在EUV时代重掌主导权。但是台积电的霸主地位并不容易撼动，台积电表示 5nm进入市场阶段 ，明年将会大规模量产。
不过近期，ASML表示，2019 年将把出货量提升到30 台，还将在2019 年下半年推出效能较前一代EUV 提升24% 的全新机款，以逐步满足市场需求。
